200mm装置のFAシステムリプレイスに最適
半導体製造装置と、デバイスメーカー様のHOSTコンピュータをオンライン化し、ロット制御のオートメーション化を実現しています。
特徴
製造装置と通信
装置と通信を行い、ウェハ（ロット）着工の自動化や、データ収集を行います。
※装置や運用により、カスタマイズが必要です。
お客様ホストコンピュータと通信
ご要望によりお客様コンピュータとの会話や、特殊な運用をカスタマイズします。
また、カセット搬送機との通信を行い、搬送の自動化を実現します。
SEMI通信
通信には、SECS、HSMSに準拠した、通信ソフトウェアを標準提供します。
ソフトウェアは、最新のアーキテクチャ
ソフトウェアは、Windows XP以降の次世代OSに対応した
最新のアーキテクチャで構成しています。
