装置見える化ソリューション ~J+Logger~
自社製品(J+Logger)を使って製造装置に接続し、装置トラブル・異常感知を行い稼働率向上などを行うソリューションです
概要
製造装置に接続することでリアルタイムにデータを収集することができ、閾値(リミット)を設定することで異常検知の際は停止を行い、不良率の削減などができるシステムソフトウェアです。
各種アナログ/デジタルセンサや監視カメラとの組み合わせでより具体的に装置状態を把握し、データ解析に活用することで品質や生産性の向上に貢献します。
半導体製造装置のリアルタイムデータ収集・制御

効果
> エラー分析を行い稼働率を見える化
故障停止やチョコ停を数値により分析し稼働率を上げます。
装置データや動画情報を分析し、装置故障の解析やプロセス異常時の素早い対応が可能です。
見える化による主な効果例 ・装置状態の把握 ・稼働率の向上 ・不良品製作時のデータ把握による不良率の削減 ・具体的かつ有効的な活用が可能 リアルタイム計測&アラート機能でいち早く確認することが可能 |
> 異常検知・故障予測の実現
異常検知・故障予測を実現するためのデータ分析に活用することが可能となります。
特徴
> 装置データの長期保管が可能
長期にわたりデータを保管することで、エラー時の検証を過去データも含め遠隔にて閲覧解析できるようになります。
これにより稼働率の改善に繋げることが出来ます。
> 各種モニタ傾向をグラフで可視化
処理結果データ傾向をグラフで可視化できます。
> 閾値を用いた異常値検出
各収集項目に閾値を設け期待するデータと異なるデータが現れたときに異常を検出することにより、装置を停止させたりなど予防的措置を講じることができます。
> 装置アラームに連動した監視カメラの映像再生
監視カメラを使用することで装置アラーム発生時、アラーム該当時刻の装置状況の映像を素早く再生することでトラブルの早期発見に貢献します。
> より具体的なデータ収集が可能
各種アナログ&デジタルセンサと組み合わせることでトラブルの早期改善に貢献します。
> 収集したデータのコピーや移動が簡単
取得したデータはCSVファイル形式に保存できるため手軽に収集・閲覧が可能です。
> あらゆる製造現場にフィット
ご要望に応じて産業用の高耐久IPCを使用することができます。
メイン機能
データ収集 | ・SECS/HSMS/GEM準拠の通信 ・ インターフェースに対応 |
収集データ出力 | ・ 収集データはCSV形式で保存 |
パススルー通信 | ・ 装置とHOST間通信をパススルーで接続 |
アラーム管理 | ・ 装置アラーム発生履歴表示 ・ 装置アラーム発生頻度グラフ化 ・ 履歴データのCSV出力 |
オプション機能
閾値設定&装置停止 | ・ 各収集項目に閾値設定 ・ 収集データと比較・装置停止 |
各種センサデータ収集 | ・ 各種PLCと直接接続可能 ・ アナログ・デジタルセンサー入出力装備 |
リアルタイムデータ収集 | ・ 装置とリアルタイムにデータ収集 ・ リアルタイムモニタで即日データ確認 |
監視カメラ | ・ 装置の動きを24時間撮影可能 ・ 撮影中の動画は自動的にPCに保存 ・ 装置アラームに連動した再生機能 |
J+brainとの組み合せ
J+brain(ジェイブレイン)とJ+Logger(ジェイロガー)を組み合わせることで、
オンライン運用を行いながらリアルタイムに装置の保持データを収集することが可能です。