J+Brain
自社製品「J+Brain(ジェイブレイン)」を使ってオンライン型の半導体製造装置に接続することでオンライン化し、製造工程の自動化を行うソリューションです
概要
J+Brain(ジェイブレイン)は、半導体製造装置とホスト間をオンライン化し、ウェハ・カセット搬送機、バーコードリーダーなどの周辺機器と接続して製造工程の自動化をお手伝いするソフトウェアです。
老朽化した設備やオンライン化出来ない設備(スタンドアローン型)、手作業で稼働している生産ラインのIoT・自動化を実現します。
半導体製造装置のオンライン通信・自動化

効果
> 半導体製造装置との通信
各装置に対応した通信を行い、材料着工の自動化やデータ収集を行います。
※対象装置、通信仕様や追加機能によって、カスタマイズが必要となります。
> お客様のホストコンピュータや各種搬送機との通信
お客様ご要望による通信(会話)の仕様や、特殊な運用にカスタマイズを行います。また、各種ロボットの仕様に応じた搬送機との通信を行い自動化をお手伝いします。
> 老朽化したオンラインシステムのリニューアル
お客様が現在使用中の老朽化してメンテナンスやトラブル対応が困難になったシステムをHOST通信仕様を継承し新しいシステムへの更新をお手伝いします。
> レシピマネジメントの効率化
製造装置のレシピ登録作業の削減と人為ミスを予防し、装置稼働率の向上に貢献します。
> リモート運転の実現
作業者に依存している古い設備の稼働をオンライン化しリモート運転を実現します。
特徴
> システム導入・運用時の容易性を向上
ベースとなるアプリケーションが備わっているため、スクラッチ開発・パッケージ導入の両メリットを活かしたシステムをご提供することが可能です。
> 簡単な操作性
簡単な操作で利用できるユーザーインターフェース(UI)をご提供します。
> 既存システムからの移行もスムーズ
老朽化してメンテナンスやトラブル対応が困難になった旧システムを互換性のあるシステムとしてスムーズに移行することが可能です。
> あらゆる製造現場にフィット
産業用の高耐久IPCを使用しています。
メイン機能
| 運用管理 | ・フロントロボットへの搬送指示 ・製造装置への処理開始指示 ・工場内使用に合わせたホストへの処理結果報告 ・ロット、レシピ、装置状態管理 |
| 画面管理 | ・装置、HOSTオンライン/オフライン状態表示 ・ロット名、レシピ名、ウェハ枚数、装置状態の表示 ・各種通信パラメータ設定 |
| アラーム管理 | ・装置アラーム検知後のアラーム情報画面表示 ・装置アラーム発生履歴表示 |
| ユーザー管理 | ・ユーザー(GUI上)ごとの権限登録 |
カスタマイズ機能
| SECS/HSMS通信制御 (標準) | 製造装置 ・装置への処理開始指示・イベント取得 ・アラーム取得・実績データ取得 工業内ホストコンピュータ ・処理条件受信・処理結果報告・アラーム報告・装置データ変換 |
| シリアル通信制御 (オプション) | バーコード ・ID読み取り処理指示・ID読取結果保持・ID比較処理 フロントロボット ・ウェハ搬送指示・カセット搬送指示 ・カセット有無確認・マッピング指示 |
| DIO通信制御 (オプション) | シグナルタワー ・工場内仕様による自動点灯判定 自動搬送用ロボット(AGV、OHT) ・カセット搬入出シーケンス処理 |
J+Logger(ジェイロガー)との組み合わせ
J+brain(ジェイブレイン)とJ+Logger(ジェイロガー)を組み合わせることで、
オンライン運用を行いながらリアルタイムに装置の保持データを収集することが可能です。
製造工場のオンライン化ソリューション J+Brain
半導体製造装置とホスト間をオンライン化
老朽化したシステムのリプレイス化を実現
半導体製造現場の課題
老朽化設備の
保守・運用負担
古い設備のトラブル対応が困難。専門知識と人手が必要で、現場負担が増加し続けています。
製造ライン全体の
一元管理ができていない
機器ごとに確認作業が発生し、管理が煩雑。一元管理が求められています。
通信仕様の不統一により
管理が煩雑化
各種装置の通信仕様が不統一。管理・運用が煩雑化しており、標準化が求められています。
J+Brainで実現するシームレスな工場自動化
製造ライン全体の統合的な制御で
工程の効率化を実現
製造装置、搬送ロボット、バーコードリーダーなど、
複数の機器をシームレスに連携
- SECS/HSMS標準通信で様々な装置に対応
- 搬送指示・アラーム検知・データ取得を一元管理
- ロット・レシピ・装置状態を統合管理
既存資産を活かしながら、
生産性・品質の向上を実現
既存のHOST通信仕様および装置構成を継承し、
業務影響を最小限に抑えた導入が可能
- 工場内仕様に合わせたホストへの処理結果報告を一元管理
- 製造装置のレシピ登録作業の削減と人為ミスを予防
- 集中制御による工程の最適化を実現
製品の主な特長
製造現場全体を繋ぐ
安定した接続性・統合制御
SECS/HSMS標準通信で半導体製造装置とホスト間をオンライン化。ウェハ・カセット搬送機、バーコードリーダーを始めとする各種周辺機器も統合的に接続し、 製造ライン全体の自動化を支援。
メンテナンスやトラブル対応が困難な老朽化した設備やオンライン化出来ない設備(スタンドアローン型)に対して、 既存のHOST通信仕様を継承し新しいシステムへの更新を実現します。
製造ラインの統合運用管理で
運用効率を大幅アップ
運用管理・画面管理・アラーム管理・ユーザー管理の基本機能を備え、半導体製造装置や周辺機器を統一的に制御し、運用効率の向上・人為的ミスの削減を支援。
フロントロボットへの搬送指示、製造装置への処理開始指示、工場内仕様に合わせたホストへの処理結果報告などを一元管理。ロット、レシピ、装置状態も統合管理します。
既存資産を継承した
スムーズな自動化基盤
既存のHOST通信仕様および装置構成を継承し、
業務影響を最小限に抑えた導入が可能。ご要望の通信仕様や、特殊な運用のカスタマイズにも対応いたします。
※対象装置、通信仕様や追加機能によって、カスタマイズが必須となります。
工場内サーバーによる集中制御により、 装置連携と自動着工処理の最適化を実現します。 また、簡単な操作で利用できるユーザーインターフェース(UI)を提供いたします。
現場を選ばない導入のしやすさと
汎用性を備えた製品仕様
高耐久IPC(産業用PC)への対応といったハード面の信頼性があるため、あらゆる製造現場にフィットします。
メイン機能
| 運用管理 |
フロントロボットへの搬送指示
製造装置への処理開始指示 工場内仕様に合わせたホストへの処理結果報告 ロット、レシピ、装置状態管理 |
|---|---|
| 画面管理 |
装置、HOSTオンライン/オフライン状態表示
ロット名、レシピ名、ウェハ枚数、装置状態の表示 各種通信パラメータ設定 |
| アラーム管理 |
装置アラーム検知後のアラーム情報画面表示
装置アラーム発生履歴表示 |
| ユーザー管理 | ユーザー(GUI上)ごとの権限登録 |
オプション機能
| SECS/HSMS通信制御 |
製造装置 ・装置への処理開始指示・イベント取得 ・アラーム取得・実績データ取得 工場内ホストコンピュータ ・処理条件受信・処理結果報告 ・アラーム報告・装置データ変換 |
|---|---|
| シリアル通信制御 |
バーコード ・ID読み取り処理指示・ID読取結果保持・ID比較処理 フロントロボット ・ウェハ搬送指示・カセット搬送指示 ・カセット有無確認・マッピング指示 |
| DIO通信制御 |
シグナルタワー ・工場内仕様による自動点灯判定 自動搬送用ロボット(AGV、OHT) ・カセット搬入出シーケンス処理 |
