半導体製造装置エンジニアリング
半導体製造装置の提案型エンジニアリングサービスを提供しています
概要
高いスキルと幅広い知識が求められる半導体製造装置の各種対応に経験豊富な匠エンジニアが、お客様の様々なニーズにお応えいたします。
トラブル対応/保守・メンテナンス
各種半導体製造装置において、トラブル対応/保守・メンテナンスのサービスを展開しており、その他、装置の立ち上げ・改造作業が多数の実績がございます。
主な業務実績一例
| IMPLA | CVD |
| PVD | CMP |
| ETCH | RTP |
| SEM | COT/DEV |
半導体装置稼働における改善業務の作業
半導体製造装置の改善ご提案
装置の延命化、装置稼働状況に応じた部品適正交換、安定稼働につながるご提案をいたします。
部品O/H（オーバーホール）
クラス1000のクリーンブース、最新のヘリウムリークディテクターを完備し、経験豊富な匠エンジニアがO/Hを実施します。
対応実績がない部品についてもすみやかに調査しご対応いたします。
> O/H作業例
半導体製造装置に取り付ける部品のO/H作業の流れ
1.部品オーバーホール
2.リークチェック
3.部品の最終調整
4.部品の動作チェック
5.納品
> オーバーホール実績例
スロットルバルブ オーバーホール
部品修理・販売
各種半導体製造装置で使用している部品の修理及びJMTエンジニアが厳選した部品の販売を行っています。
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