J+Insight

自社製品「J+Insight（ジェイインサイト）」を使って製造装置に接続し、装置トラブル・異常感知を行い稼働率向上などを行うソリューションです

概要

製造装置に接続することでリアルタイムにデータを収集することができ、閾値（リミット）を設定することで異常検知の際は停止を行い、不良率の削減などができるシステムソフトウェアです。

各種アナログ/デジタルセンサや監視カメラとの組み合わせでより具体的に装置状態を把握し、データ解析に活用することで品質や生産性の向上に貢献します。

半導体製造装置のリアルタイムデータ収集・制御

効果

> エラー分析を行い稼働率を見える化
　故障停止やチョコ停を数値により分析し稼働率を上げます。
　装置データや動画情報を分析し、装置故障の解析やプロセス異常時の素早い対応が可能です。

　見える化による主な効果例
　・装置状態の把握
　・稼働率の向上
　・不良品製作時のデータ把握による不良率の削減
　・具体的かつ有効的な活用が可能
　　リアルタイム計測＆アラート機能でいち早く確認することが可能

> 異常検知・故障予測の実現
　異常検知・故障予測を実現するためのデータ分析に活用することが可能となります。

特徴

> 装置データの長期保管が可能
　長期にわたりデータを保管することで、エラー時の検証を過去データも含め遠隔にて閲覧解析できるようになります。
　これにより稼働率の改善に繋げることが出来ます。

> 各種モニタ傾向をグラフで可視化
　処理結果データ傾向をグラフで可視化できます。

> 閾値を用いた異常値検出
　各収集項目に閾値を設け期待するデータと異なるデータが現れたときに異常を検出することにより、装置を停止させたりなど予防的措置を講じることができます。

> 装置アラームに連動した監視カメラの映像再生
　監視カメラを使用することで装置アラーム発生時、アラーム該当時刻の装置状況の映像を素早く再生することでトラブルの早期発見に貢献します。

> より具体的なデータ収集が可能
　各種アナログ＆デジタルセンサと組み合わせることでトラブルの早期改善に貢献します。

> 収集したデータのコピーや移動が簡単
　取得したデータはCSVファイル形式に保存できるため手軽に収集・閲覧が可能です。

> あらゆる製造現場にフィット
　ご要望に応じて産業用の高耐久IPCを使用することができます。

メイン機能

データ収集	・SECS/HSMS/GEM準拠の通信・インターフェースに対応
収集データ出力	・収集データはCSV形式で保存
パススルー通信	・装置とHOST間通信をパススルーで接続
アラーム管理	・装置アラーム発生履歴表示・装置アラーム発生頻度グラフ化・履歴データのCSV出力

オプション機能

閾値設定＆装置停止	・各収集項目に閾値設定・収集データと比較・装置停止
各種センサデータ収集	・各種PLCと直接接続可能・アナログ・デジタルセンサー入出力装備
リアルタイムデータ収集	・装置とリアルタイムにデータ収集・リアルタイムモニタで即日データ確認
監視カメラ	・装置の動きを24時間撮影可能・撮影中の動画は自動的にPCに保存・装置アラームに連動した再生機能

J+Remoteとの組み合せ

J+Remote（ジェイリモート）とJ+Insight（ジェイインサイト）を組み合わせることで、
オンライン運用を行いながらリアルタイムに装置の保持データを収集することが可能です。

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製造工場の稼働率向上ソリューション J+Insight

製造装置からリアルタイムにデータ収集・状態把握
異常検知で装置を停止し、不良品抑制・ウェハ品質向上を支援

半導体製造現場の課題

品質フィードバックに
時間を要する

品質フィードバックに多大な工数が発生。条件改善や再現に効率化が求められています。

エラー見逃しと
対応遅延リスク

工場内装置を常に監視することは困難。トラブルの初動対応が遅れるリスクがあります。

エラー・設備データが
活用できていない

エラーや設備データを蓄積するも、分析・活用・改善活動に繋がらないことがあります。

J+Insightで実現するデータ活用と現場改善

リアルタイムにデータ収集・状態把握

製造装置に接続することで、
リアルタイムにデータ収集・活用を実現

閾値設定による異常検知時の停止で不良率の抑制
各種センサや監視カメラとの接続で、装置状態を把握
収集したデータの解析で品質や生産性の向上に貢献

異常検知・故障予測・稼働率の見える化

装置データや動画情報を分析による、
装置故障の解析やプロセス異常時の素早い対応が可能

装置状態の把握による稼働率の向上支援
リアルタイム計測・アラート機能で迅速な確認が可能
不良品製作時のデータ把握による不良率の削減

製品の主な特長

リアルタイムに
各種情報をグラフで可視化

装置のプロセスログと各種センサーや周辺機器のデータを紐づけます。処理結果の傾向はグラフで出力し、直感的に確認ができるように可視化します。取得したデータは汎用的なCSV形式で出力でき、閲覧や再利用が可能です。

収集データを解析システムと連動させた高度なデータ活用にも対応しており、故障の予兆を早期に検知し、設備の稼働率向上に貢献します。
※FDCエンジンは別途搭載となります。

閾値を用いた異常値検出

プロセスやリアルタイムデータから任意の項目を選択し、製造装置本体とは独立した独自の閾値を設定することで、インターロック制御が可能になります。

異常検知時には装置を安全にサイクル停止させるとともに、画面表示やパトライトを通じて現場へ即座にアラートを通知します。

装置アラームに連動した
監視カメラの映像再生

監視カメラによる24時間録画・リアルタイム表示に対応し、映像データは自動的に保存されます。録画の開始・終了といった操作も J+Insight から簡単に行えます。

装置のアラームログと連動した再生機能を搭載。ログ画面から「監視カメラ表示」を選択するだけで、アラーム発生の数秒前に遡って映像を瞬時に確認できるため、トラブルの早期発見と原因究明に大きく貢献します。