J+Brain(ジェイブレイン)

J+Brain(ジェイブレイン)

オフライン型の半導体製造装置に接続することでオンライン化し、製造工程の自動化を行うIoTソフトウェア

概要

J+Brain(ジェイブレイン)は、半導体製造装置とホスト間をオンライン化し、ウェハ・カセット搬送機、バーコードリーダーなどの周辺機器と接続して製造工程の自動化をお手伝いするソフトウェアです。

老朽化した設備やオンライン化出来ない設備(スタンドアローン型)、手作業で稼働している生産ラインのIoT・自動化を実現します。

半導体製造装置のオンライン通信・自動化

効果

> 半導体製造装置との通信
 各装置に対応した通信を行い、材料着工の自動化やデータ収集を行います。
 ※対象装置、通信仕様や追加機能によって、カスタマイズが必要となります。

> お客様のホストコンピュータや各種搬送機との通信
 お客様ご要望による通信(会話)の仕様や、特殊な運用にカスタマイズを行います。また、各種ロボットの仕様に応じた搬送機との通信を行い自動化をお手伝いします。

> 老朽化したオンラインシステムのリニューアル
 お客様が現在使用中の老朽化してメンテナンスやトラブル対応が困難になったシステムをHOST通信仕様を継承し新しいシステムへの更新をお手伝いします。

> レシピマネジメントの効率化
 製造装置のレシピ登録作業の削減と人為ミスを予防し、装置稼働率の向上に貢献します。

> リモート運転の実現
 作業者に依存している古い設備の稼働をオンライン化しリモート運転を実現します。

特徴

> システム導入・運用時の容易性を向上
 ベースとなるアプリケーションが備わっているため、スクラッチ開発・パッケージ導入の両メリットを活かしたシステムをご提供することが可能です。

> 簡単な操作性
 簡単な操作で利用できるユーザーインターフェース(UI)をご提供します。

> 既存システムからの移行もスムーズ
 老朽化してメンテナンスやトラブル対応が困難になった旧システムを互換性のあるシステムとしてスムーズに移行することが可能です。

> あらゆる製造現場にフィット
 産業用の高耐久IPCを使用しています。

メイン機能

運用管理 ・フロントロボットへの搬送指示
・製造装置への処理開始指示
・工場内使用に合わせたホストへの処理結果報告
・ロット、レシピ、装置状態管理
画面管理 ・装置、HOSTオンライン/オフライン状態表示
・ロット名、レシピ名、ウェハ枚数、装置状態の表示
・各種通信パラメータ設定
アラーム管理 ・装置アラーム検知後のアラーム情報画面表示
・装置アラーム発生履歴表示
ユーザー管理 ・ユーザー(GUI上)ごとの権限登録

カスタマイズ機能

SECS/HSMS通信制御
(標準)
製造装置
 ・装置への処理開始指示・イベント取得
 ・アラーム取得・実績データ取得

工業内ホストコンピュータ
 ・処理条件受信・処理結果報告・アラーム報告・装置データ変換
シリアル通信制御
(オプション)
バーコード
 ・ID読み取り処理指示・ID読取結果保持・ID比較処理

フロントロボット
 ・ウェハ搬送指示・カセット搬送指示
 ・カセット有無確認・マッピング指示
DIO通信制御
(オプション)
シグナルタワー
 ・工場内仕様による自動点灯判定

自動搬送用ロボット(AGV、OHT)
 ・カセット搬入出シーケンス処理

J+Logger(ジェイロガー)との組み合わせ

J+brain(ジェイブレイン)とJ+Logger(ジェイロガー)を組み合わせることで、
オンライン運用を行いながらリアルタイムに装置の保持データを収集することが可能です。

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